OptoTech Optikmaschinen GmbH
Sandusweg 2-4, 35435 Wettenberg, Deutschland
[email protected]
OAC-140F
Große Substrate – Große Volumen
Die OptoTech OAC-140F ist eine Vakuum-Aufdampfanlage und wird zum Auftragen hochwertiger Dünnschichten wie Antireflexbeschichtungen (AR) und anderer Arten von optische Schichten und Interferenzfiltern auf optischen Komponenten in kleineren Losgrößen verwendet. Das OAC-Beschichtungssystem zeichnet sich durch die für OptoTech bekannte Produktqualität, einfache Handhabung und außergewöhnliche Zuverlässigkeit im täglichen Produktionsbetrieb aus.
Beschichtung
AR-Beschichten
Kontaktanfrage
Highlights
- Hochpolierte Edelstahlkammer für Hochvakuumanwendungen
- Kundenspezifische Dome, Sektoren, Planeten Substrathalter erhältlich
- Pumpsystem mit Cryo-Pumpe und Trockenpumpe
- Prozesssteuereinheit mit benutzerfreundlichem Interface
- Multi Elektronenstrahlverdampfungssystem
- Optional: Simultane Verdampfung
- Multi Thermischer Verdampfer
- Plasmaquelle DN400 oder gitterlose Mark2-Ionenquelle mit Filament oder Hohlkathode
- Heizsystem
- Kontrolle der Dünnschichtabscheidung mit Multi-Quarzkristall-Methode
Systemvorteile
- Ideal geeignet für mittelgroße und große Auftragsvolumen
- Große Bandbreite an wettbewerbsfähigen Beschichtungsverfahren
- Zuverlässig in der täglichen Produktion
- Einfach zu bedienen
- Höchste Produktivität
- Sehr kurze Durchlaufzeiten
Optionen
- Turbo-Pumpe oder Diffusions-Pumpe mit Meissner-Falle und Polycold
- Simultane Verdampfung
- Breitbandmonitor: direkte Messung
- Große Auswahl an Verbrauchsmaterialien und Beschichtungsmaterialien verfügbar
